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能研8745 - 氣體流量控制器的使用說(shuō)明

更新時(shí)間:2024-05-22      點(diǎn)擊次數(shù):618

以下是一份氣體質(zhì)量流量控制器的一般使用說(shuō)明:


一、安裝


1. 選擇合適的安裝位置,確保環(huán)境溫度、濕度等符合設(shè)備要求。


2. 按照設(shè)備手冊(cè)正確連接氣體入口和出口管路,注意密封良好。


二、預(yù)熱

在使用或長(zhǎng)時(shí)間未使用后,需進(jìn)行適當(dāng)時(shí)間的預(yù)熱,以確保測(cè)量準(zhǔn)確性。


三、設(shè)置與操作


1. 通過(guò)控制面板或配套軟件設(shè)置所需的流量值。


2. 可根據(jù)需要選擇不同的單位(如 SCCM、SLPM 等)。


3. 確認(rèn)設(shè)定的氣體類型與實(shí)際使用的氣體相符。


四、運(yùn)行與監(jiān)測(cè)


1. 開(kāi)啟氣體供應(yīng),觀察流量顯示是否穩(wěn)定在設(shè)定值附近。


2. 定期檢查顯示數(shù)值與實(shí)際需求是否一致。


五、維護(hù)與保養(yǎng)


1. 定期清潔設(shè)備表面,防止灰塵等雜質(zhì)影響性能。


2. 按照規(guī)定的時(shí)間間隔進(jìn)行校準(zhǔn),以保證測(cè)量精度。


3. 如發(fā)現(xiàn)故障或異常,應(yīng)及時(shí)停止使用并聯(lián)系專業(yè)人員維修。


六、注意事項(xiàng)


1. 嚴(yán)格按照設(shè)備規(guī)定的壓力、溫度范圍操作。


2. 避免強(qiáng)烈震動(dòng)和沖擊。


3. 對(duì)不同氣體可能需要特定的使用要求,務(wù)必遵循相關(guān)規(guī)定。



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