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富士單成分濃度計(機(jī))

簡要描述:日本富士FUJI單成分濃度計(機(jī))
維護(hù)性和高精度內(nèi)線測量等的FUD-1 Model-13的好處就那樣,成為作為半導(dǎo)體制造工藝用小型單元型發(fā)信器作為特長的模型。

  • 產(chǎn)品型號:FUD-1 Model-13
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時間:2024-11-23
  • 訪  問  量:1552

詳細(xì)介紹

品牌其他品牌應(yīng)用領(lǐng)域化工,生物產(chǎn)業(yè),農(nóng)業(yè),地礦,能源

日本富士FUJI單成分濃度計(機(jī))的產(chǎn)品簡介:

維護(hù)性和高精度內(nèi)線測量等的FUD-1 Model-13的好處就那樣,成為作為半導(dǎo)體制造工藝用小型單元型發(fā)信器作為特長的模型。

 

FUD-1 Model-53/FUD-1 Model-63 ※以下是構(gòu)成的一例。単成分濃度計(専用)

單成分濃度計的特點:

實時濃度測量可能,濃度管理系統(tǒng)構(gòu)筑也簡單
模擬DC4~20mA及數(shù)字RS232C標(biāo)準(zhǔn)裝備
標(biāo)準(zhǔn)配備測量錯誤輸出和警報輸出
標(biāo)準(zhǔn)裝備自己診斷功能·錯誤信息表示
小型·輕量小區(qū)型發(fā)信器在線直接設(shè)置可能
采用PFA的接液構(gòu)件、小輸出設(shè)計對藥液沒有影響


優(yōu)點:

高精度連續(xù)計測可能
無需定期調(diào)整、校對,無需維護(hù)
設(shè)置時的各種調(diào)整等不需要也容易設(shè)置
由于實時輸出的工程的反饋也容易


日本富士FUJI單成分濃度計(機(jī))的用途:

在CMP工序中的CMP襯墊或氧化劑濃度管理等
稀釋工程的各種藥液濃度管理等(H2O2?TMAH?HNO3?H2SO4?HCl等)
在清洗過程中的清洗液濃度管理等(HF?NH4OH?KOH?IPA等)
蝕刻工序中的蝕刻液濃度管理等(HF?H2SO4等)

 

規(guī)格:

形式FUD-1 Model-13
測量參數(shù)超聲波傳播速度?溫度
顯示:LCD(濃度、溫度、音速/各種參數(shù))
輸出信號模擬DC4~20mA(可對濃度值自由設(shè)定)
數(shù)字RS232C(濃度、溫度、音速、錯誤代碼)
警報上限測量異常.
電源AC100V~240V 50/60Hz (也可以使用DC24V)
構(gòu)造面板掛載型(根據(jù)DIN規(guī)格)?盤內(nèi)設(shè)置型(可選擇安裝在防雨箱中)
環(huán)境溫度0~50℃RH85%以下(不結(jié)露)
0~100℃特別規(guī)格-10~160℃(100℃幅度)
功能:輸出范圍設(shè)定、警報輸出設(shè)定、濃度顯示移動平均、濃度顯示偏移及增益設(shè)定功能、自我診斷功能、全息安全功能、異常值取消
RS485輸出(不能與RS232C同時輸出)
選項溫度輸出(DC4~20mA)
頻道大10ch
適配發(fā)信器Model-13:SA-20S26/SA-20S27/SA-20M5

 

如有需求,請詳見:FUJI單成分濃度計(機(jī))

 

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